2020-09-14 11:47:36 責(zé)任編輯: 瑞智光電 0
硅晶圓就是指硅半導(dǎo)體電路制作所用的硅晶片,晶圓是制造IC的基本原料,生產(chǎn)硅晶圓的過程當(dāng)中,良品率是很重要的條件,對(duì)于硅晶圓的品質(zhì)要求極為嚴(yán)格,在大批量生產(chǎn)的時(shí)候,往往需要對(duì)硅晶圓進(jìn)行外觀檢測,比如:尺寸,破損,裂粒,氣孔,裂痕,鎳層不良等等。傳統(tǒng)工藝中,往往是通過人工來手動(dòng)進(jìn)行硅晶圓的外觀檢測,費(fèi)時(shí)費(fèi)力,且易使得硅晶圓受到人為外力的作用而損壞,現(xiàn)有的硅晶圓外觀檢測設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,往往通過機(jī)械手抓取硅晶圓,也易導(dǎo)致硅晶圓受到外力作用而損壞,導(dǎo)致次品率提高,為此東莞瑞智光電提出了一種硅晶圓外觀檢測設(shè)備,而提出的一種硅晶圓外觀檢測設(shè)備,其可通過吸盤吸附住硅晶圓移動(dòng),避免了人工進(jìn)行移動(dòng)操作費(fèi)時(shí)費(fèi)力且易使得硅晶圓受到外力作用而損壞的情況,更好的保護(hù)了硅晶圓,提高了產(chǎn)品的質(zhì)量,降低了次品率。
硅晶圓檢測設(shè)備就是利用視覺檢測的原理,對(duì)硅晶圓產(chǎn)品進(jìn)行尺寸和外觀檢測的一種光學(xué)影像檢測設(shè)備。硅晶圓外觀檢測設(shè)備采用工業(yè)相機(jī)對(duì)硅晶圓、硅晶片進(jìn)行尺寸測量、外觀缺陷檢測來代替人工檢測,節(jié)省人力、降低成本,大大地提高了生產(chǎn)效率和檢測精度。
硅晶圓外觀檢測設(shè)備的檢測原理同光學(xué)影像篩選機(jī)相同,即通過CCD相機(jī)將被檢測的目標(biāo)轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào),根據(jù)像素分布和亮度、顏色等信息,轉(zhuǎn)變成數(shù)字化信號(hào),圖像處理系統(tǒng)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行各種運(yùn)算來抽取目標(biāo)的特征,如面積、數(shù)量、位置、長度,再根據(jù)預(yù)設(shè)的允許度和其他條件輸出結(jié)果,包括多段高度、多度寬度,斷針、塞孔,無效牙長(頸下牙高),牙底徑,牙外徑,牙距,斜牙、搓牙不良,螺絲長度,頭部有無電鍍,有無倒角,塞孔,偏心,有無牙等,由此實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測識(shí)別功能。
硅晶圓外觀檢測設(shè)備的檢測對(duì)象:包括各種類型硅晶圓、硅晶片、螺絲,螺母,墊片等零部件。有需要的客戶可以來電咨詢或來瑞智光電工廠考察!